T/ZSA 72-2019 碳化硅单晶

T/ZSA 72-2019 碳化硅单晶

标准编号：T/ZSA 72-2019

规范名称：碳化硅单晶

本标准规定了4H及6H碳化硅单晶必要的相关术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。

本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。

起草单位：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京天科合达半导体股份有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京三平泰克科技有限责任公司、北京天科合达新材料有限公司、新疆天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京华进创威电子有限公司、河北同光晶体有限公司、山东大学、全球能源互联网研究院有限公司。