GB/T 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-05-01
标准编号：GB/T 34894-2017
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
标准编号：GB/T 34894-2017
规范名称：微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微悬臂梁结构表面形貌进行应变梯度测量的方法。
本标准适用于表面反射率不低于4％且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微悬臂梁结构。
全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：中机生产力促进中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、南京理工大学、天津大学、中国电子科技集团公司第十三研究所
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法(图)
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