GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
标准编号：GB/T 26113-2010
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
标准编号：GB/T 26113-2010
规范名称：微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。
全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：中机生产力促进中心、天津大学、西安交通大学、中原工学院
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则(图)
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