GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术 术语
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 术语
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
标准编号：GB/T 26111-2010
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术 术语
标准编号：GB/T 26111-2010
规范名称：微机电系统（MEMS）技术 术语
本标准规定厂微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。本标准适用于微机电系统领域的研究、开发，评测和应用。
全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：中机生产力促进中心、清华大学、中北大学等、中国电子科技集团第13研究所、上海交通大学
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术 术语(图)
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