GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
标准名称：硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
标准编号：GB/T 32816-2016
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
标准编号：GB/T 32816-2016
规范名称：硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
本标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。
全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：北京大学、大连理工大学、中机生产力促进中心、北京青鸟元芯微系统科技有限公司
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范(图)
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