GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
标准名称：硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
标准编号：GB/T 32814-2016
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
标准编号：GB/T 32814-2016
规范名称：硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于S0I硅片的MEMS器件的加工和质量检验。
全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：西北工业大学、中机生产力促进中心
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范(图)
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。