GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
标准名称：硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
发布日期：2012-05-11
实施日期：2012-12-01
标准编号：GB/T 28276-2012
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
标准编号：GB/T 28276-2012
规范名称：硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：中国电子科技集团第十三研究所、北京大学、中机生产力促进中心、中国科学院上海微系统与信息技术研究所
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范(图)
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