GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨
标准名称：电子工业用气体 六氟化钨
发布日期：2015-12-31
实施日期：2016-07-01
标准编号：GB/T 32386-2015
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨
标准编号：GB/T 32386-2015
规范名称：电子工业用气体 六氟化钨
本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。分子式:WF6。分子量:297.830419 2(按2009年国际相对原子质量计算)。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所、西南化工研究设计院有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、厦门钨业股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨(图)
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