GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫
标准名称：电子工业用气体 六氟化硫
发布日期：2014-12-22
实施日期：2015-07-01
标准编号：GB/T 18867-2014
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫
标准编号：GB/T 18867-2014
规范名称：电子工业用气体 六氟化硫
本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：黎明化工研究设计院有限责任公司、青海信禾高精化工有限公司、四川众力氟业有限责任公司、大连大特气体有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、四川中测标物科技有限公司
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫(图)
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