GB/T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢
标准名称：电子工业用气体 硒化氢
发布日期：2011-01-14
实施日期：2011-05-01
标准编号：GB/T 26249-2010
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢
标准编号：GB/T 26249-2010
规范名称：电子工业用气体 硒化氢
本标准规定了硒化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。分子式：H2Se。相对分子质量：8o．975 88(按2007年国际相对原子质量计算)。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国计量科学研究院、上海华爱色谱分析技术有限公司、西南化工研究设计院、河北保定市北方特种气体有限公司
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢(图)
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