GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨
标准名称：电子工业用气体 氨
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
标准编号：GB/T 14601-2009
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨
标准编号：GB/T 14601-2009
规范名称：电子工业用气体 氨
u3000u3000本标准规定了氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 u3000u3000本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：大连光明化工研究院、武汉市鼎立化工有限责任公司、中国西南油气田成都天然气化工总厂、西南化工研究设计院
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨(图)
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