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GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼

GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼

简介

GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼

标准编号:GB/T 14603-2009

规范名称:电子工业用气体 三氟化硼

u3000u3000本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。 u3000u3000本标准适用于以氟气和硼单质为原料,采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼;和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院

批准发布部门:国家标准化管理委员会

GB/T 14603-2009

GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼(图)

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