GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦
标准名称：电子工业用气体 氦
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
标准编号：GB/T 16943-2009
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦
标准编号：GB/T 16943-2009
规范名称：电子工业用气体 氦
u3000u3000本标准规定了氦的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制照中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：西南油气田分公司成都天然气化工总厂、西南化工研究设计院、北京氦普北分气体工业有限公司
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦(图)
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