GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫
标准名称：电子工业用气体 六氟化硫
发布日期：2002-10-15
实施日期：2003-04-01
标准编号：GB/T 18867-2002
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫
标准编号：GB/T 18867-2002
规范名称：电子工业用气体 六氟化硫
本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中核红华特种气体股份有限公司
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫(图)
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。