GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦
标准名称：电子工业用气体 氦
发布日期：1997-08-13
实施日期：1998-05-01
标准编号：GB/T 16943-1997
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦
标准编号：GB/T 16943-1997
规范名称：电子工业用气体 氦
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：化学工业部西南化工研究院
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦(图)
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