GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
标准名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)
发布日期：1995-12-20
实施日期：1996-08-01
标准编号：GB/T 15909-1995
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
标准编号：GB/T 15909-1995
规范名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：化工部西南化工研究院
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)(图)
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。