GB/T 14600-1993 电子工业用气体 氧化亚氮
标准名称:电子工业用气体 氧化亚氮
发布日期:1993-08-26
实施日期:1994-07-01
标准编号:GB/T 14600-1993
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:GB/T 14600-1993
规范名称:电子工业用气体 氧化亚氮
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:化工部西南化工研究院
批准发布部门:国家标准化管理委员会
GB/T 14600-1993 电子工业用气体 氧化亚氮(图)