GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
标准名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
标准编号：GB/T 15909-2009
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
标准编号：GB/T 15909-2009
规范名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)
u3000u3000本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。。 u3000u3000本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4)(图)
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。