GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮
标准名称：电子工业用气体 三氟化氮
发布日期：2007-12-14
实施日期：2008-07-01
标准编号：GB/T 21287-2007
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮
标准编号：GB/T 21287-2007
规范名称：电子工业用气体 三氟化氮
本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。分子式：NF。分子量：71.001 9（按2001年国际相对原子量）
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：湖北沙隆达天门农化有限责任公司、核工业理化工程研究院特气中心、黎明化工研究院等、中国船舶重工集团公司第七一八研究所、中核红华特种气体股份有限公司
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮(图)
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。