GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷
标准名称：电子工业用气体 八氟丙烷
发布日期：2015-09-11
实施日期：2016-05-01
标准编号：GB/T 31986-2015
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷
标准编号：GB/T 31986-2015
规范名称：电子工业用气体 八氟丙烷
本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。 本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备,并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品,以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。 分子式:C3F8。 相对分子质量:188.017(按2011年国际相对原子质量)。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、四川中测标物科技有限公司、西南化工研究设计院有限公司、浙江省化工研究院有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷(图)
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。