GB/T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷
标准名称：电子工业用气体 锗烷
发布日期：2015-09-11
实施日期：2016-05-01
标准编号：GB/T 31987-2015
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷
标准编号：GB/T 31987-2015
规范名称：电子工业用气体 锗烷
本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。
本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。
分子式:GeH4。
相对分子质量:76.662(按2011年国际相对原子质量计算)。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院、佛山市华特气体有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷(图)
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