GB/T 1555-2009 半导体单晶晶向测定方法
标准名称：半导体单晶晶向测定方法
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
标准编号：GB/T 1555-2009
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 1555-2009 半导体单晶晶向测定方法
标准编号：GB/T 1555-2009
规范名称：半导体单晶晶向测定方法
u3000u3000本标准规定了半导体单晶晶向X射线衍射定向和光图定向的方法。 u3000u3000本标准适用于测定半导体单晶材料大致平行于低指数原子面的表面取向。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：峨嵋半导体材料厂
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 1555-2009 半导体单晶晶向测定方法(图)
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