GB/T 14264-2009 半导体材料术语
标准名称：半导体材料术语
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
标准编号：GB/T 14264-2009
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 14264-2009 半导体材料术语
标准编号：GB/T 14264-2009
规范名称：半导体材料术语
u3000u3000本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。 u3000u3000本标准适用于元素和化合物半导体材料。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国有色金属工业标准计量质量研究所、杭州海纳半导体有限公司、有研半导体材料股份有限公司、国瑞电子材料有限责任公司等
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 14264-2009 半导体材料术语(图)
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