GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
标准名称：硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
标准编号：GB/T 14146-2009
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
标准编号：GB/T 14146-2009
规范名称：硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容－电压测量方法。 u3000u3000本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：南京国盛电子有限公司、信息产业部专用材料质量监督检验中心、宁波立立电子股份有限公司
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法(图)
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