GB/T 14139-2009 硅外延片
标准名称：硅外延片
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
标准编号：GB/T 14139-2009
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 14139-2009 硅外延片
标准编号：GB/T 14139-2009
规范名称：硅外延片
u3000u3000本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装运输、贮存等。 u3000u3000本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的n型外延层（N/N＋）和在p型硅抛光片衬底上生长的P型外延层（P/P＋）的同质硅外延片。产品主要用于制作硅半导体器件。其他类型的硅外延片可参照使用。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：宁波立立电子股份有限公司
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 14139-2009 硅外延片(图)
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