GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
标准名称：重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
发布日期：1993-12-30
实施日期：1994-09-01
标准编号：GB/T 14847-1993
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
标准编号：GB/T 14847-1993
规范名称：重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
本标准规定了重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法。本标准适用于衬底室温电阻率小于0.02Ω·cm和外延层室温电阻率大于0.1Ω·cm且外延层厚度大于2μm的硅外延层厚度的测量。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：机电部四十六所
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法(图)
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