GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法
标准名称：半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-04-01
标准编号：GB/T 42271-2022
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法
标准编号：GB/T 42271-2022
规范名称：半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法
该国家标准描述了半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法。
该国家标准适用于测量电阻率范围为1×105Ω·cm~1×1012Ω·cm的半绝缘碳化硅单晶片。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院有限责任公司
起草人：彭同华、佘宗静、李素青、王波、刘立娜、王大军、张贺、杨建、袁松
GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法(图)
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