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SJ/T 11488-2015 半绝缘砷化镓电阻率、霍尔系数和迁移率测试方法

SJ/T 11488-2015 半绝缘砷化镓电阻率、霍尔系数和迁移率测试方法

简介

SJ/T 11488-2015 半绝缘砷化镓电阻率、霍尔系数和迁移率测试方法

标准编号:SJ/T 11488-2015

规范名称:半绝缘砷化镓电阻率、霍尔系数和迁移率测试方法

适用范围:

本标准规定了半绝缘砷化镓单晶电阻率、霍尔系数和霍尔迁移率的测量方法。本标准适用于电阻率在10^4Ω·cm~10^9Ω·cm范围内的半绝缘砷化单晶材料电学参数的测量。

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

批准发布部门:工业和信息化部行业分类无

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