SJ/T 11488-2015 半绝缘砷化镓电阻率、霍尔系数和迁移率测试方法
标准名称:半绝缘砷化镓电阻率、霍尔系数和迁移率测试方法
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
标准编号:SJ/T 11488-2015
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:SJ/T 11488-2015
规范名称:半绝缘砷化镓电阻率、霍尔系数和迁移率测试方法
适用范围:
本标准规定了半绝缘砷化镓单晶电阻率、霍尔系数和霍尔迁移率的测量方法。本标准适用于电阻率在10^4Ω·cm~10^9Ω·cm范围内的半绝缘砷化单晶材料电学参数的测量。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
批准发布部门:工业和信息化部行业分类无