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GB/T 17170-2015 半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法

GB/T 17170-2015 半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法

简介

GB/T 17170-2015 半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法

标准编号:GB/T 17170-2015

规范名称:半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法

本标准规定了半绝缘砷化镓单晶深施主 EL2浓度的红外吸收测试方法。 本标准适用于电阻率大于10^6 Ω·cm 的非掺杂和碳掺杂半绝缘砷化镓单晶深施主 EL2浓度的测定。 本标准不适用于掺铬半绝缘砷化镓单晶深施主 EL2浓度的测定。

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子材料行业协会、天津市环欧半导体材料技术有限公司

批准发布部门:国家标准化管理委员会

GB/T 17170-2015

GB/T 17170-2015 半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法(图)

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