GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法
标准名称：硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
标准编号：GB/T 14145-1993
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法
标准编号：GB/T 14145-1993
规范名称：硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：上海有色金属研究所
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法(图)
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