GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
标准名称：硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
发布日期：2021-05-21
实施日期：2021-12-01
标准编号：GB/T 14146-2021
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
标准号：GB/T 14146-2021
全部代替标准：GB/T 14146-2009
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：南京国盛电子有限公司、中电晶华（天津）半导体材料有限公司、河北普兴电子科技股份有限公司、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、义乌力迈新材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、无锡华润上华科技有限公司、
起草人：骆红、潘文宾、赵而敬、张佳磊、严琴、黄宇程、杨素心、赵扬、李慎重、黄黎、皮坤林
国家标准《硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法(图)
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