GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
标准名称：硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
标准编号：GB/T 14146-1993
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
标准编号：GB/T 14146-1993
规范名称：硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：上海市有色金属总公司
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法(图)
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