GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅
标准名称：硅外延用三氯氢硅
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
标准编号：GB/T 30652-2014
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅
标准号：GB/T 30652-2014
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中锗科技有限公司、南京中锗科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司、
起草人：赵立奎、张莉萍、刘新军、郑华荣、谭卫东、金龙
国家标准《硅外延用三氯氢硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅(图)
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