GB/T 14139-2019 硅外延片
标准名称：硅外延片
发布日期：2019-06-04
实施日期：2020-05-01
标准编号：GB/T 14139-2019
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 14139-2019 硅外延片
标准编号：GB/T 14139-2019
规范名称：硅外延片
本标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明
书和订货单（或合同）内容。
本标准适用于在直径不大于150mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：浙江金瑞泓科技股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有研半导体材料有限公司、南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 14139-2019 硅外延片(图)
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