GB/T 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
发布日期：2019-12-31
实施日期：2020-04-01
标准编号：GB/T 38341-2019
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
标准编号：GB/T 38341-2019
规范名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
本标准规定了MEMS器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理。
本标准适用于需要进行可靠性试验的MEMS器件。
全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：东南大学、佛山市川东磁电股份有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、无锡华润上华科技有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司、华为技术有限公司、中机生产力促进中心、沈阳国仪检测技术有限公司、北京大学、中国科学院电子学研究所
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法(图)
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