GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板
标准名称：光掩模石英玻璃基板
发布日期：2017-09-07
实施日期：2018-08-01
标准编号：GB/T 34178-2017
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板
标准编号：GB/T 34178-2017
规范名称：光掩模石英玻璃基板
本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板）的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二级管（LED）等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。
全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司、长沙韶光铬版有限公司、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心、中建材衢州金格兰石英有限公司、中国建筑材料科学研究总院
批准发布部门：中国建筑材料联合会
GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板(图)
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。