GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜
标准名称：硬面光掩模用铬薄膜
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
标准编号：GB/T 15870-1995
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜
标准编号：GB/T 15870-1995
规范名称：硬面光掩模用铬薄膜
本标准规定了硬面光掩模用铬薄膜的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用铬薄膜（以下简称铬薄膜）。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：长沙韶光微电子总公司
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜(图)
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