GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范
标准名称：光掩模对准标记规范
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
标准编号：GB/T 16524-1996
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范
标准编号：GB/T 16524-1996
规范名称：光掩模对准标记规范
本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国科学院微电子中心
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范(图)
*特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请联系我们处理。