SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范
标准名称：碳化硅单晶抛光片规范
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准编号：SJ/T 11502-2015
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范
标准编号：SJ/T 11502-2015
规范名称：碳化硅单晶抛光片规范
适用范围：
本规范规定了碳化硅单晶抛光片的术语和定义、牌号、要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、贮存和运输等内容。本规范适用于晶型为6H和4H，单面或双面抛光,直径100mm及以下的碳化硅单晶抛光片。其它晶型或尺寸的碳化硅单晶抛光片可参照使用。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
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