GB/T 8760-2020 砷化镓单晶位错密度的测试方法
标准名称:砷化镓单晶位错密度的测试方法
发布日期:2020-09-29
实施日期:2021-08-01
标准编号:GB/T 8760-2020
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:GB/T 8760-2020
规范名称:砷化镓单晶位错密度的测试方法
本标准规定了砷化镓单晶位错密度的测试方法。
本标准适用于{100}、{111}面砷化镓单晶位错密度的测试,测试范围为0cm-2~100000cm-2。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:有研光电新材料有限责任公司、国合通用测试评价认证股份公司、广东先导稀材股份有限公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、中国电子科技集团第四十六研究所、雅波拓(福建)新材料有限公司
批准发布部门:国家标准化管理委员会
GB/T 8760-2020 砷化镓单晶位错密度的测试方法(图)