GB/T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
发布日期：2020-03-06
实施日期：2020-10-01
标准编号：GB/T 38446-2020
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
标准编号：GB/T 38446-2020
规范名称：微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。
本标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：北京大学、北京智芯传感科技有限公司、中北大学、中机生产力促进中心、无锡华润上华科技有限公司、北京必创科技股份有限公司
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法(图)
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