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GB/T 32293-2015 真空技术 真空设备的检漏方法选择

GB/T 32293-2015 真空技术 真空设备的检漏方法选择

简介

GB/T 32293-2015 真空技术 真空设备的检漏方法选择

标准编号:GB/T 32293-2015

规范名称:真空技术 真空设备的检漏方法选择

本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求、通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序及选择原则、检漏方法的特征参数。本标准适用于真空设备的检漏方法选择,适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀门、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空冷冻干燥设备、表面分析设备、真空冶金设备、空间环境模拟设备、半导体生产设备等真空设备。工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准执行。

全国真空技术标准化技术委员会

起草单位:北京卫星环境工程研究所、安徽皖仪科技股份有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、威海智德真空科技有限公司、沈阳真空技术研究所、中国空间技术研究院兰州空间技术物理研究所、台州环球真空设备制造有限公司、中山凯旋真空技术工程有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司

批准发布部门:中国机械工业联合会

GB/T 32293-2015

GB/T 32293-2015 真空技术 真空设备的检漏方法选择(图)

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