GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
标准名称：真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
发布日期：2010-12-23
实施日期：2011-10-01
标准编号：GB/T 25755-2010
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
标准编号：GB/T 25755-2010
规范名称：真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
本标准规定了溅射离子泵(以下简称离子泵)性能参数的测量方法。本标准适用于名义体积流率大于10L／s的离子泵。本标准测量体积流率的压力范围从1.5X10-3Pa到1X10-7Pa。注:本标准保证了离于泵性能参数的澜量在相同的条件下按相同的方法进行．由此做到由各制造厂家或务实验室所作的测量与制造厂家在样本中给定的资料是可比的。
全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所
批准发布部门：中国机械工业联合会
GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量(图)
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