GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
标准名称：表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
发布日期：2006-03-27
实施日期：2006-11-01
标准编号：GB/T 20175-2006
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
标准编号：GB/T 20175-2006
规范名称：表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的，本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。特殊多层膜系的使用不包括在本标准内。
全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：清华大学电子工程系
批准发布部门：国家标准化管理委员会
GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法(图)
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