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T/CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求

T/CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求

简介

T/CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求

标准编号:T/CI 334-2024

规范名称:半导体设备隔振系统设计及技术要求

该国家标准规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。

该国家标准适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。

该国家标准中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。

起草单位:上海大学力学与工程科学学院、上海大学微电子学院、中国科学院上海技术物理研究所、上海卫星工程研究所、浙江零振智能装备有限公司、上海隐冠半导体技术有限公司、上海路博减振科技股份有限公司

起草人:陆泽琦、陈立群、张建华、贾建军、谢永、刘兴天、李浩源、闫腾飞、凌晓、辛涵申、姜琳、陶大燎、薛杰、陈震宇、欧阳郁汀

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