DB13/T 5631-2022 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范
标准名称：电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范
发布日期：2022-12-27
实施日期：2023-01-27
标准编号：DB13/T 5631-2022
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
DB13/T 5631-2022 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范
标准编号：DB13/T 5631-2022
规范名称：电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范
该国家标准规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工艺过程、环境要求和管理要求。
该国家标准适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。
廊坊市市场监督管理局
起草单位：廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司
起草人：贾建亮、贾建恩、孙艳、韩云涛、关海华、李继东
批准发布部门：河北省市场监督管理局行业分类制造业
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