DB1310/T 227-2020 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范
标准名称:电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范
发布日期:2020-10-16
实施日期:2020-11-16
标准编号:DB1310/T 227-2020
标准状态:现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式:PDF电子版
标准编号:DB1310/T 227-2020
规范名称:电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范
该国家标准适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术
起草单位:廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司
批准发布部门:廊坊市市场监督管理局行业分类制造业