T/ZZB 2283-2021 半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉
标准名称：半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉
发布日期：2021-08-26
实施日期：2021-09-26
标准编号：T/ZZB 2283-2021
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
T/ZZB 2283-2021 半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉
标准编号：T/ZZB 2283-2021
规范名称：半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉
起草单位：浙江省标准化研究院、中钢新型材料股份有限公司、冶金工业信息标准研究院。
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