T/ICMTIA SM006-2021 集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片
标准名称：集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片
发布日期：2021-05-31
实施日期：2021-07-30
标准编号：T/ICMTIA SM006-2021
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
T/ICMTIA SM006-2021 集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片
标准编号：T/ICMTIA SM006-2021
规范名称：集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片
起草单位：上海新昇半导体科技有限公司，武汉新芯集成电路制造有限公司，上海华力微电子有限公司
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