T/ICMTIA 4.1-2020 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分：液体甲基丙烯酸酯类
标准名称：集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分：液体甲基丙烯酸酯类
发布日期：2020-12-31
实施日期：2021-03-01
标准编号：T/ICMTIA 4.1-2020
标准状态：现行(*非即时更新以实际为准)
标准格式：PDF电子版
简介
T/ICMTIA 4.1-2020 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分：液体甲基丙烯酸酯类
标准编号：T/ICMTIA 4.1-2020
规范名称：集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分：液体甲基丙烯酸酯类
本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体。
起草单位：徐州博康信息化学品有限公司
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